超高纯电子特气管道系统的真正含义

     半导体,集成电路,生物制约行业输送超纯介质(气体)的高纯气体管路是一种综合考虑组织安定性,耐蚀性,加工性的最优化不锈钢管。要确保系统中立,我们要强调表面粗糙度Ra 值和自身的洁净,使颗粒发生和堆积滞留得到有效抑止。为了确保可焊接性及焊接质量,要求保证尺寸公差,母材的化学成分。这样才能确保在焊接时降低烟气的发生,颗粒的产生及提高焊接部位的耐蚀性和平滑性。

     总而言之, 高纯管路既要有漂亮的外表 (外在的纯净), 又要有货真价实的材质 (内在的纯净)。

      1、外在的纯净,有别于传统不锈钢管道内外表面灰蒙蒙,凹凸不平的感觉,现在的超纯气体管道不仅有锃亮的外表,同时也有较好的内表面粗糙度, 以确保管道系统对传输的介质保持中立以及保证最佳的彻底吹扫及清洗性能, 现在工程师及技术人员常常提及的表面粗糙度Ra 值就是对管道系统内表面粗糙度的基本要求。为了确保自动轨道焊接的质量和效率,尺寸公差当然也是最基本的要求。

     2、内在的纯净指纯净的材质:真正意义上的超纯,气体管道仅有漂亮的内外表面是远远不够的,对管道系统的材质也有非常苛刻严格的要求,无论对化学成分和机械性能都有一定的定义。所以我们提到的纯净管道是由纯净的316L制成,指不锈钢中的不纯物尽量降到一定范围内,非金属夹杂物以及气体成分控制在最小极限，而高纯洁净管的级别可分为BA和EP级，超高纯电子特气管道系统用的一般是316LEP级的不锈钢管，就是电解抛光不锈钢管。

物料管道安装