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一般在氮气总管出口处安装预过滤（0.45μm）装置，在氮气使用点前加装除菌过滤器装置（0.22μm），以保证工艺用气的无菌要求。在氮气除菌过滤器位置安装有纯汽接入点，并且在管道设计与安装时保持相应的坡度，保证便于对管道系统进行清洗与消毒时的可排净性。鉴于工艺系统中需分别使用要求2.2Bar和0.3Bar的洁净氮气，故设计了二级减压装置，在使用点可对用气的压力时行微调。系统材质选用316L材料。
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